Deep UV 포토리소그래피 및 나노임프린트 리소그래피
융합을 통한 메타렌즈 제작 플랫폼 세계 최초 개발
고굴절 물질/폴리머 하이브리드 메타표면을 통한 고효율 메타렌즈 공정기술
이헌 교수팀 연구결과, Nature Materials에 게재
▲ 상단 왼쪽부터 이헌 신소재공학과 교수(교신저자), 김원중 신소재공학과 석박사통합과정생(제1저자),
최호정 신소재공학과 석박사통합과정생(공저자), 박찬웅 신소재공학과 석박사통합과정생(공저자)
하이브리드 메타표면을 이용하여 기존의 소재/공정 한계를 극복한 메타렌즈 소자 및 이를 이용한 가상현실 기술이 세계 최초로 개발되었다.
공과대학 신소재공학부 이헌 교수(교신저자) 연구팀과 포항공과대학교 노준석 교수(교신저자) 연구팀이 주도한 이번 연구는
재료공학분야 세계 정상급 국제학술지 Nature Materials (IF: 47.656, JCR: 0.62%)의 논문으로 출간되었다.
논문명: calable manufacturing of high-index atomic layer–polymer hybrid metasurfaces for metaphotonics in the visible
DOI : https://doi.org/10.1038/s41563-023-01485-5
이번 연구에서는 임프린트 레진을 이용하여 고종횡비 및 비등방적 구조를 갖는 메타렌즈 어레이를 최대 12인치 웨이퍼 상에 제작하고 원자층 증착법(Atomic layer deposition)을 이용하여 표면을 고굴절 소재로 코팅하였다. 이때 메타렌즈 어레이를 이루는 각각의 나노구조체인 메타아톰은 입사하는 빛을 조절하여 한 점에 모이게 해 메타렌즈가 확대경의 역할을 할 수 있도록 하였다. 메타렌즈는 가시광선의 여러 파장(RGB)에서 각각 이상적인 렌즈로서 작동하였다. 이를 가상현실(Virtual reality) 시스템에 적용하여 실제로 산업에 적용할 수 있음을 확인했다.